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注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整，暫不接受個人委托測試望見諒。

信息概要

晶圓盒SMIF屏蔽認(rèn)證（SEMI E78）是針對半導(dǎo)體制造中使用的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口（SMIF）晶圓盒的屏蔽性能進(jìn)行的標(biāo)準(zhǔn)化檢測。該認(rèn)證確保晶圓盒在運(yùn)輸和存儲過程中能夠有效隔離外部污染物，保護(hù)晶圓表面的潔凈度，從而提升半導(dǎo)體制造的良率和可靠性。檢測的重要性在于，晶圓盒的屏蔽性能直接關(guān)系到晶圓的質(zhì)量和生產(chǎn)效率，未通過認(rèn)證的產(chǎn)品可能導(dǎo)致晶圓污染，進(jìn)而造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。通過第三方檢測機(jī)構(gòu)的專業(yè)服務(wù)，可以確保晶圓盒符合SEMI E78標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求。

檢測項(xiàng)目

屏蔽效率測試，顆粒物泄漏測試，靜電屏蔽性能測試，氣密性測試，材料兼容性測試，機(jī)械強(qiáng)度測試，耐化學(xué)性測試，溫度循環(huán)測試，濕度穩(wěn)定性測試，振動測試，沖擊測試，潔凈度測試，表面電阻測試，電磁屏蔽測試，紫外線老化測試，臭氧暴露測試，壓力衰減測試，氣流均勻性測試，密封性能測試，尺寸精度測試

檢測范圍

200mm晶圓盒，300mm晶圓盒，450mm晶圓盒，開放式晶圓盒，封閉式晶圓盒，SMIF晶圓盒，F(xiàn)OUP晶圓盒，石英晶圓盒，塑料晶圓盒，金屬晶圓盒，防靜電晶圓盒，高溫晶圓盒，低溫晶圓盒，真空晶圓盒，潔凈晶圓盒，防輻射晶圓盒，多層晶圓盒，單層晶圓盒，定制化晶圓盒，自動化晶圓盒

檢測方法

激光粒子計(jì)數(shù)器法：通過激光粒子計(jì)數(shù)器檢測晶圓盒內(nèi)外的顆粒物數(shù)量，評估屏蔽效率。

氣溶膠挑戰(zhàn)測試：向晶圓盒內(nèi)注入氣溶膠，檢測泄漏情況。

靜電衰減測試：測量晶圓盒材料的靜電衰減時(shí)間，評估靜電屏蔽性能。

氦質(zhì)譜檢漏法：使用氦氣作為示蹤氣體，檢測晶圓盒的微小泄漏。

材料兼容性測試：將晶圓盒材料與常見化學(xué)品接觸，觀察其變化。

機(jī)械強(qiáng)度測試：通過施加機(jī)械力，測試晶圓盒的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

溫度循環(huán)測試：將晶圓盒置于高低溫循環(huán)環(huán)境中，評估其穩(wěn)定性。

濕度穩(wěn)定性測試：在高濕度環(huán)境中測試晶圓盒的性能變化。

振動測試：模擬運(yùn)輸過程中的振動，檢測晶圓盒的抗震性能。

沖擊測試：通過自由落體或沖擊機(jī)測試晶圓盒的抗沖擊能力。

潔凈度測試：使用潔凈室技術(shù)檢測晶圓盒內(nèi)部的顆粒物含量。

表面電阻測試：測量晶圓盒表面的電阻值，評估防靜電性能。

電磁屏蔽測試：使用電磁波發(fā)生器測試晶圓盒的電磁屏蔽效果。

紫外線老化測試：將晶圓盒暴露在紫外線下，評估其耐老化性能。

臭氧暴露測試：將晶圓盒置于臭氧環(huán)境中，測試其耐臭氧性能。

檢測儀器

激光粒子計(jì)數(shù)器，氣溶膠發(fā)生器，靜電衰減測試儀，氦質(zhì)譜檢漏儀，材料測試機(jī)，溫度循環(huán)箱，濕度試驗(yàn)箱，振動臺，沖擊試驗(yàn)機(jī)，表面電阻測試儀，電磁屏蔽測試儀，紫外線老化箱，臭氧老化箱，壓力衰減測試儀，潔凈度檢測儀

實(shí)驗(yàn)儀器

測試流程

注意事項(xiàng)

1.具體的試驗(yàn)周期以工程師告知的為準(zhǔn)。

2.文章中的圖片或者標(biāo)準(zhǔn)以及具體的試驗(yàn)方案僅供參考，因?yàn)槊總€樣品和項(xiàng)目都有所不同，所以最終以工程師告知的為準(zhǔn)。

3.關(guān)于（樣品量）的需求，最好是先咨詢我們的工程師確定，避免不必要的樣品損失。

4.加急試驗(yàn)周期一般是五個工作日左右，部分樣品有所差異

5.如果對于（晶圓盒SMIF屏蔽認(rèn)證（SEMI E78））還有什么疑問，可以咨詢我們的工程師為您一一解答。